三坐标测量机的保养，需要在各方面都要进行维护，光栅尺作为三坐标测量机的关键部件，也是非常部件，保养的是否合理直接影响三坐标的精度和光栅尺的寿命。三坐标测量机光栅尺的具体保养和清洁方法请看业内人士的建议。
光栅尺传感器与数显表插头座插拔时应关闭电源后进行。尽可能外加保护罩，及时清理溅落在尺上的切削和油液，严格防止任何异物进入壳体内部。定期检查各连接螺丝是否松动。为延长防尘密封条的寿命，可在密封条上均匀涂上一薄层硅油，注意勿溅落在玻璃光栅刻划面上。
为保证光栅尺传感器使用的可靠性，可每隔一定时间用乙醇混合液（各百分之50）清洗擦拭光栅尺面及指示光栅面，保持玻璃光栅尺面清洁。光栅尺传感器严禁剧烈震动及摔打，以免破坏光栅尺如光栅尺断裂，光栅尺传感器即失效了。不要自行拆开栅尺传感器，更不任意改动主光栅与副光栅的相对间距，否则一方面可能破坏光栅尺传感器的精度，另一方面可能造成主光栅尺与副光栅尺的相对摩擦，损坏铬层也就破坏了栅线，以而造成光栅尺报废。
应注意防止油污及水污光栅尺面，以免破坏光栅尺线条纹分布，引起测量误差。光栅尺传感器应尽量避免在严重腐蚀作用的环境中工作，以免腐蚀光栅尺铬层及光栅尺表面，破坏光栅尺质量。
三坐标测量机的光栅尺清洁，可以使用脱脂棉球蘸无水酒精，手拿棉球从光栅的一端擦向另一端，然后换掉这个棉球，用干净棉球接着擦，棉球不能重复使用，注意不能来回擦。擦的过程中不要碰读数头，不要让棉球的纤维粘在光栅上，读数头有静电会吸附纤维影响读数。三坐标测量机的光栅尺不宜经常擦，一季度或半年擦一次即可。