三坐标测量机软件在数据处理过程中产生较大误差的主要原因如下：
1）由于某些计算比较复杂，在三坐标测量机软件的编制过程中采用了一些近似算法。例如以线性最小二乘法代替非线性最小二乘法。
2）在误差计算中常常对两个数值很接近的量进行相减，相减中相对误差增大。相减后再进行乘除运算，绝对误差也会增大。
3）德国国家物理技术研究院在测试中发现，许多三坐标测量机软件中对方向余弦的值所给的有效数字位数不够，有不少运算中需要十位小数。
4）有的三坐标测量机软件对“毛刺”十分敏感，即个别值有些偏差就会引起较大的计算误差。
5）对数据可能产生的各种情况考虑不周。对一类数据能给出较精确的计算结果，而对另一类数据则会产生较大误差，乃至发生差错。
6）有的三坐标测量机软件在迭代搜索过程中收敛性较差，乃至在某些情况下不收敛，无法给出正确计算结果。
7）数据运用不当。